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专利详情
一种用于ITO平面靶材清洗防碰撞装置
申请号：
CN201920951198.X
申请公布号：
CN210754110U
申请日：
2019-06-21
申请公布日：
2020-06-16
申请（专利权）人：
中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司,广东凯盛光伏技术研究院有限公司
专利代理机构：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
分类号：
B08B3/12
专利介绍
本实用新型公开了一种用于ITO平面靶材清洗防碰撞装置，将第一隔板嵌入长方体容器的两条相对应的凹槽内，使其平行长方体容器侧面。然后将第二隔板嵌入相邻两个第一隔板上的凹槽内，使其平行于长方体容器的前后面；由此将长方体容器内部空间分割成若干个小的长方体槽，最后将批量ITO平面靶材放入小长方体槽中，再把本装置浸没在清洗池内，进行超声清洗。完成超声清洗后，靶材没有发生碰撞而崩角或开裂现象，靶材表面洁净。
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